




實(shí)驗(yàn)室集中供氣的優(yōu)點(diǎn)
1、保持氣體純度
2、不間斷氣體供應(yīng):系統(tǒng)可以以手動(dòng)方式和自動(dòng)方式在氣瓶之間進(jìn)行切換,保證氣體連續(xù)供應(yīng)
3、低壓警示:當(dāng)氣壓低于警報(bào)限時(shí),報(bào)警裝置可自動(dòng)啟動(dòng)報(bào)警
4、氣體壓力穩(wěn)定:系統(tǒng)采用兩級(jí)減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力
5、率:通過(guò)供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本
6、操作簡(jiǎn)便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運(yùn)安裝的操作,節(jié)約時(shí)間和成本費(fèi)用
7、無(wú)氣瓶在實(shí)驗(yàn)室:可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實(shí)驗(yàn)室操作空間
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實(shí)驗(yàn)室氣體的危險(xiǎn)性
1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會(huì)對(duì)工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;
2.多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用,如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏,就可能對(duì)工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;
3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對(duì)人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)針對(duì)過(guò)去使用中存在的問(wèn)題,現(xiàn)代試驗(yàn)室對(duì)載氣的使用環(huán)境進(jìn)行了改革,即“集中供氣系統(tǒng)”,即將使用氣體(以下簡(jiǎn)稱載氣)集中貯存,然后通過(guò)壓差的原理將氣體經(jīng)過(guò)金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點(diǎn)。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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